全自動二次元測量儀

X、Y軸測量精度(μm):3+L/200

Z軸測量精度(μm):5+L/200

重復精度（mm）:0.002

運動速度(mm/s): XY軸=0~400    Z軸=0~100

光柵尺: 1.0μm分辯率開放式玻璃光柵尺

圖像傳感器CCD: SBK-HC536 700線工業彩色相機

視頻采集卡：“大恒”高解晰度雙路彩色視頻卡

導軌: HIWIN SP級精密線性導軌

絲桿：TBI研磨滾珠絲桿

光學系統: 6.5:1連續變倍導航鏡筒

放大倍率: 光學放大倍率:0.7-4.5X;影像放大倍率:24-158X

軟件: SBK-CNC全自動測量軟件

輪廓光源系統: LED冷光源,256級亮度程控可調

表面光源系統: 四環八區LED冷光源,各區獨立操控,256級亮度程控可調

運動控制: SBK4000全閉環控制系統

電 機：TIGER交流同步伺服電機

操作方式: 軟件+搖桿

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